性能指标：能量分辨率：0.48eV/(Ag 3d5/2），0.68eV/(C 1s)（PET 上O-C=O 的C 1s）最小分析区域（收谱） <10μm 灵敏度（Ag 3d5/2） ：大面积 11,800kcps (1.3eV ) 空间分辨率 (快速平行成像 )：小于3μm 空间分辨率(扫描成像)：15μm 和27μm

主要应用：仪器具有高能量分辨率和高检测灵敏度。主要应用于各种有机和无机固体材料的表面元素及其价态定性、定量分析，表面元素化学成像及深度剖析；可用于腐蚀、摩擦、浸润、粘接、催化、包覆、氧化等表面和界面过程的研究。

样品要求：1、不能被测试的样品种类：放射性的样品；具有强磁性样品（注意：易被磁化或弱磁性粉末材料需要被压成片后方可送样，易被磁化或弱磁性片状样品可以直接送样）；在制样过程中容易快速潮解的样品；真空条件下可以释放大量气体，尤其释放出的气体对不锈钢具有腐蚀性的样品，比如可以释放出HCl+H2O；有化学毒性和生物毒性的样品；在X光照射下会分解的样品。另外， 含有F和I元素的样品需要和测试老师事先沟通以确认是否可以送样。 2、样品物性/外形/尺寸 (1)导体、半导体和绝缘体均可以； (2)对绝缘体和半导体一般只适合粉末、薄膜、薄片（样品厚度1 mm以内），不适合块体； (3)粉末样品要求颗粒越细越好； (4)对于导体块状（不规则形状时）样品，需要送样人将样品加工成片状，上下面最好互为平行面； (5)特殊样品形状，例如，纤维、大颗粒、小圆棒（尺寸大小在微米到几个毫米之间），可以直接送样。 3、样品用量： (1)粉末、大颗粒、小圆棒：体积大于0.2 mL；如果需要压片时（有利于做定量分析），送样量(体积)应适当增加到0.75-1 mL； (2)薄膜及片状样品：长×宽在~6 mm × 6 mm以内，厚度不大于1 mm； (3)块体： 长×宽 在~6 mm × 6 mm以内；厚度不大于3 mm； (4)注意： UPS的样品需要尺寸大一点，长宽在12 mm × 6 mm左右，厚度不高于1.5 mm； (5)变角和深度剖析的样品，长宽在12 mm × 12 mm左右，厚度都不高于3 mm。 4、送样时注意事项： (1)送样品时请附上打印的预约单，所有样品在送样之前必须提前进行真空干燥或者冷冻干燥，粉末样品必须研磨均匀； (2)样品中不得含有乙酸乙酯、氯仿、二氯甲烷、苯、环己烷、DMSO等有机试剂, 待测试的样品表面不能被沾污（如手摸拿，碰触污染物等）； (3)易被氧化或易吸水样品，在送样过程中应注意隔离空气（如放保干器， 或高纯Ar气袋 ），或事先与我们联系，商量解决办法； (4)最好用带盖的玻璃小试管、小容量瓶等容器装样；最好不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的胶带或胶面和纸袋，以免硅树脂或纤维污染样品表面。也可以使用干净的铝箔直接包裹样品后放入干净的玻璃器皿中送样； (5)如果高分子材料中含有残余的挥发性有机试剂分子或小分子单体，务必先行在真空烘箱中抽除这些物质。如果样品置入XPS预抽真空腔体内，经过一夜抽真空后依然无法抽至5×10E-7torr以下，该样品的测试将被取消； (6)对薄膜、片状、块体样品标记出测试面；千万注意：不能使用墨水笔在样品上标记测试面，以免墨水中的有机试剂污染待测样品表面！！！；对于金属，半导体，高分子材料片状或者块状样品，建议使用刀片或金刚石刻刀在不测的一面画＂＋＂字； 另外，样品袋上要用标签纸标上预约人姓名； (7)写明分析测试的要求，如定性（元素种类，元素价态等），定量（样品中元素相对百分含量）等。如果样品有易磁化，易变性（如被氧化，吸附等）等情况应说明清楚； (8)复杂测试时，初次实验需要决定分析条件情况，送样者若能到场，可能有助于测试的进行。

仪器说明：可以分析除氢、氦以外的所有元素，包括元素种类及价态。并可以提供测定元素相对含量的半定量分析。 广泛应用于研究聚合物、无机化合物、有机化合物、催化剂、涂层材料、纳米材料、矿石等各种材料。结合其它表征技术，可以对腐蚀、摩擦、润滑、燃烧、粘接、催化、包覆、氧化等过程进行研究。最具有特色的是XPS可以测定元素的化学价态及化学环境的影响。 通过角分辨法及Ar离子剥离法可以提供元素深度分布信息。 主要用于固体样品表面的组成，能进行定性、半定量分析。